서울대 공정실습 산화 -3일차 너~~~무 글 쓰기 귀찮다. ㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋ 원래는 하루에 한 번 정리해서 저번주에 서울대 공정실습 모든 포스팅을 마무리 할려고 했는데 귀찮아서 안 하게 되었다. 그래도 내 것으로 만들어야 하니깐... 꾸역꾸역 이번주안에 정리는 하자:) 3일차에서는 산화이론, 산화실습, 이온이론을 배웠다. 산화이론에서 조교님이 수업을 시작하기 전에 산화를 왜 하는 지? 어떻게 하는 지? 생각하면서 수업을 들으면 좋겠다고 하셨다. 산화공정은 실리콘 기판위에 산화제와 열E를 공급해 자연성장을 하도록 하여 산화막을 형성 시키도록 해준다. 산화 반응 단계는 1.Reaction process(실리콘과 직접 화학반응했을 때) 2. Diffusion process(성장중인 상태라 확산을 통해 화학반응을 할 때) 로 나.. 더보기 서울대 공정실습2~3일차-금속 이론은 2일차 저녁에 들었고 실습은 3일차 아침에 들었다. 오픽학원에 실습까지 하니깐 정신이 멍하다 하필 일요일날 체해서 토까지 하고 잠도 제대로 못 자서 월요일부터 컨디션이 최악이었는데 그 상태로 쉬지를 못 하니깐 더 힘들었던거 같다. 만약에 집에서 대중교통 타고 실습을 했다면 못 버텼을 거다 에어비앤비로 방 잡길 잘했다. 이젠 본론으로 가겠다. 오늘 이론에서 배운건 금속공정(Metal Process) 이었다. 금속공정은 BEOL공정인데 풀어말하면 back end of line 라고 말한다. 근데 FEOL에서도 이용되긴 한다. 나중에 얘기하겠다. 기판위에 전기적특성, 절연막형성, CMP등 마지막 공정단계를 일컫는다. 즉 배선(Metal layer)하는 작업 포토, 식각, 옥시데이션, 데포, 이온주입은 .. 더보기 서울대 공정실습 1~2일차-포토 1일날 이론을 배우고 2일날 아침에는 실습을 하였다. 이론은 피곤해서 그런지 제대로 듣지는 못 했지만 최대한 정리 하겠다. MEMS란 초소형 전자기기 시스템을 말한다. 작은 소자라고도 말한다. 이를 하는 이유는 고집적화, 구동전압을 낮추고, 생산성을 높이기 위해서다 웨이퍼는 클수록 모스펫이 스케일링 될 수록 유리하다는 것이다. 포토공정이란? 원하는 모델을 만들기 위해 마스크를 통해 전사해 패턴을 형성하는 과정을 말한다. 포토공정 순서는 1.Surface Preparation-말 그대로 시작을 하기전 사전작업을 하는 것이다. HMDS를 도포하여 PR이 잘 경화되도록 해준다. 저 통안에 들어 있는 용액이 HMDS다 PR가 소수성 물질로 구성되어 있기 때문에 기판 표면을 소수성을 바꾸기 위해 용액 첨가를 한다.. 더보기 이전 1 2 3 4 ··· 7 다음
